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高濃度臭氧破壞器

主要應(yīng)用于:
● CVD
● ALD
● MOCVD
● Ashers
● Wet tools
聯(lián)系電話:0512-65920792

產(chǎn)品詳情

● 高效臭氧催化劑;

● High efficiency ozone catalyst;

● 采用通用的CF法蘭與VCR接頭,可快速連接,安裝簡(jiǎn)單;

● CF flange and VCR connector  construction; Simple installation;

● 無(wú)需維護(hù)

● No maintenance;

● 可按照流量與濃度定制;

● Variable flow and concentration model is available. 


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